Definição – o que significa nanolitografia?
Nanolitografia é um ramo da nanotecnologia e o nome do processo para padrões de impressão, escrita ou gravação em um nível microscópico, a fim de criar estruturas incrivelmente pequenas. Esse processo é normalmente usado para criar dispositivos eletrônicos menores e mais rápidos, como micro / nanochips e processadores. A nanolitografia é usada principalmente em vários setores da tecnologia, da eletrônica à biomédica.
Definirtec explica nanolitografia
Nanolitografia é um termo amplo usado para descrever vários processos para a criação de padrões em nanoescala em diferentes meios, o mais comum dos quais é o silício de material semicondutor. O objetivo predominante da nanolitografia é o encolhimento dos dispositivos eletrônicos, o que permite que mais peças eletrônicas sejam amontoadas em espaços menores, ou seja, circuitos integrados menores que resultam em dispositivos menores, que são mais rápidos e baratos de fabricar, pois menos materiais são necessários. Isso também aumenta o desempenho e os tempos de resposta, porque os elétrons precisam viajar apenas distâncias muito curtas.
Algumas técnicas utilizadas em nanolitografia são as seguintes:
- Litografia de raios-X – implementada por meio de uma abordagem de impressão de proximidade e depende de raios-X de campo próximo na difração de Fresnel. É conhecido por estender sua resolução óptica para 15 nm.
- Padrões duplos – Um método usado para aumentar a resolução de pitch de um processo litográfico, imprimindo padrões adicionais entre espaços de padrões já impressos na mesma camada.
- Litografia de gravação direta de feixe de elétrons (EBDW) – O processo mais comum usado em litografia, que usa um feixe de elétrons para criar padrões.
- Litografia ultravioleta extrema (EUV) – Uma forma de litografia óptica que usa comprimentos de onda de luz ultravioleta de 13.5 nm.